EDPMSとは
Seleteの推進するEES(Equipment Engineering System)構想においてTDI(Tool Data Interface)の位置づけとなるものであり、
⇒EEQA(Enhanced Equipment Quality Assurance)<装置導入時の品質保証高度化要求>
⇒EEQM(Enhanced Equipment Quality Management)<装置レベルでの装置機能の性能確認>
を実現するためのプラットフォームです。
(資料)Selete 装置エンジニアリングデータ収集機能要求仕様書 (DCRD)
EDPMSでは装置から送出される詳細なイベントデータとトレースデータを精度よく効率的にRDBに保管することを最優先としています。 また比較的小さなサーバでもすばやい応答性を実現しています。
EDPMSの機能
装置レベル／プロセスモジュール／シーケンス／IOデバイスと装置の階層化を行った上で様々な装置イベントを整理し、そのイベント でレシピやトレースデータと組合せデータを様々な観点から解析できます。
EDPMSの機能
EDPMSは次の機能を持っています。
１．装置の状態をリアルタイムに見る
２．装置のアラーム履歴を見る
３．装置の稼動管理を行う
４．装置の着工履歴を見る
５．装置の定期保全計画を立てる
６．装置の予防保全の実施条件を設定する
７．装置の保全履歴を見る
８．装置の改造履歴を見る
９．保全部品在庫管理を行う
１０．装置マニュアルを電子化しファブ内で見る
装置動作のバラツキを抑えるためのツールとしてヘルスモニタや動作時間の確認を行うためのツールを実装しております。
Ver 6.0からは、これまでオプションであった装置FDを標準搭載としています。精度の良いデータを収集し、整理して保存しているからこそ的確な故障検知も可能になっており、 最終的に高いプロセスの安定性を維持できると確信しております。
また装置の動作を3Dで再現することが可能になりました。
装置動作を詳細に収集しているため、 実際に装置が動作した実時間で装置の動きを再現できます。
さらに今後Products・Lifecycle・Management(PLM)を行っていくため「装置を解析する」から「装置を最適化する」 ための機能を充実させて参ります。
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