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EDGPL Splitterとは
EDGPL SplitterはリアルタイムにEEDataを収集することを目的として、半導体製造装置の周辺機器に接続し装置エンジニアリングデータの収集を行うとともに
HOST装置間で実行されているGEM（200,300）通信から必要なデータを取り出しEES（装置エンジニアリングサーバ）にデータを分配するものです。 |
 EDGPL
Splitterの機能 EDGPL Splitterは次の機能を持っています。 |
１．装置エンジニアリングデータの収集装置のI/O部分 または 外付けI/Oから収集・保管
２．HOSTと装置間の通信から装置イベントを取得
３．装置イベントと関連付けられたサンプリング処理
例：プロセスモジュール内でのウェーハプロセス開始/終了イベントによるサンプリング
４．装置イベントと関連付けられたレポート処理
例：ウェーハ処理終了によるデータ報告
５．リミットの管理データの閾値管理
６．EESへのデータ報告
７．EDGPL Splitter単体でのデータ表示／検索機能
８．検索結果をCSVファイルで出力 |
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EDGPL Splitterでは 装置で発生するイベントと収集データの関連付けを行うことが可能となり
装置イベントによるデータ収集の開始/終了の制御や報告が可能です。サンプリング対象となるデータは
アナログ入力，パラレル入力，リモートI/O，シリアル通信（カスタマイズ必要）の各データです。
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アナログ入力には 電源のパワー，電圧，電流等のプロセス信号と接続します。 |
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パラレル入力にはイベントとなる各種タイミング信号を設定します。 |
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シリアル通信は各種インテリジェント装置と接続します。シリアル通信は 通信プロトコルに関する打合わせを行い
ドライバを準備する必要があります。 |
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データ収集項目については、単位，リミット値，キャリブレーションなどフレキシブルに設定することが可能です。 |
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