EVHCON-IVとは
EVHCON-IVは、半導体生産管理システム及び装置コントローラに対応した通信システム構築ツールです。
半導体CIMシステム
半導体CIMシステムを構成する生産管理システム，セルコントローラ，インラインコントローラ，製造装置等をSEMIスタンダード準拠でシームレスに接続します。
EVHCON-Ⅳの特徴
1台のPCで最大99CHまでの通信が可能、各チャンネル毎に HSMS，SECS-Ｉを選択可能、SECS-Ⅱ，GEMをサポート、開発期間大幅短縮、変更が容易
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