株式会社システム・ブイ EVATSスケジューラ

EVATSスケジューラとは
全てのウェハを同一の条件でプロセスを行うためにウェハの搬送スケジューリングを計算するものでクラスターツールのようなマルチチャンバーの装置及びインラインマルチプロセス装置を対象としています。EVATSスケジューラの特徴は次の通りです。

EVATSスケジューラの特徴

１）	定間隔搬送を行う
	プロセスモジュールへのウエハ搬入タイミングを管理しウエハ間の処理時間のバラツキを減らします。
２）	スループットの向上
	スケジューリングにより、トランスファーモジュールのロボット動作の無駄を排除することによりスループットの向上を計ります。

パラレル搬送の例

搬送シーケンス
搬送シーケンスは次の仕様をサポートします。

シリアル搬送：	全てのウェハが同じフローを使用します。
シリパラ搬送：	シリアル搬送と同様にシーケンシャルに搬送しますがフローの途中で同機能のチャンバーが使用できる場合並行に処理を行います。
パラレル搬送：	同じチャンバーを使用しない2つのフローを同時に処理します。