●EDPMSのDBから業務に必要となる「装置特性解析データ」を 作成し、グラフ解析に加えAIや統計解析ソフトとの連携を可能とするツールです。 ●EDPMS/SEEDのメソッド ・デバイス／シーケンスレベル ＜装置動作解析＞ ・スループット解析 ＜装置搬送効率向上＞ ・プロセス解析 ＜プロセス実行時のトレースデータ解析＞ ・プロセス波形解析 ＜装置プロセス安定化＞ ・RAWデータ出力＜プロセスRAWデータのAIツール連携＞ サイトご利用条件 個人情報保護方針 環境理念方針 Copyright(c) 2004 systemV, Inc. All right reserved.