●EDPMS/DCでは装置詳細データが共通データベースに保存されます。 ●TOPViewを使用することで装置プロセスデータや搬送状態を一つにGUIで解析できます。 ●装置に対する処理能力の解析は以下の観点から可能です。 ●装置内搬送観点 　・装置レベル・モジュールレベルでのウェーハ処理枚数 　・搬送待機中のウェーハ枚数 　・アラーム発生による待機時間 ●装置外搬送観点 　・キャリア搬入出タイミング ●プロセス処理時間観点 　・装置内でプロセス処理中のトレースデータ、レシピに対応した処理時間 ●これらの解析にはEDPMSが装置から収集した、下記のようなデータが使用されます。 　・キャリア単位の搬入出イベント 　・ウェーハ単位の処理イベント 　・モジュール単位の処理イベント 　・プロセス処理時間・トレースデータ 　・シーケンスステップ動作時間 サイトご利用条件 個人情報保護方針 環境理念方針 Copyright(c) 2004 systemV, Inc. All right reserved.