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●EDPMSはこれまでオプションであった装置レベルFDも標準搭載しています。
単なる従来機能を抱き合わせたのではなく使いやすさを重視して
EDPMSのクライアントソフトウェアであるTOPViewに組み込んでいます。
●装置FDを行うための設定と結果表示をEDPMS/TOPViewに組み込んで操作性を向上させています。
●精度の良いデータを収集し、整理して保存しているからこそ的確な故障検知も可能になっており、
最終的 に高いプロセスの安定性を維持できると確信しております。
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