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半導体製造装置対応リアルタイムモニター EDRFLXモニターライブラリ EDLMXライブラリ

EDRFLXモニターライブラリとは
当社の開発する装置制御システムの基盤であり、汎用リアルタイムOS上で動作する組込用リアルタイムモニターです。

各コントローラ毎にEDRFLXモニターを使用し、高速な情報交換を行う場合に使用するミドルウェアです。
この2つのシステムにより、各コントローラのリアルタイムな分散制御を行うことができ、また1台のコントローラで仮想的に複数のコントローラが動作しているような、論理的な分散システムも可能としました。

クラスターツール制御例
クラスターツール制御例

ソフトウェアの構成要素
ボトムアップで機能単位でシステムを構築します。

制御レイヤー
機     能
I/O CONTROLL
DI/O,AI/O,SI/O及びリモートI/O等の入出力を制御します。
DEVICE MONITOR
アクチュエータとセンサーからなるデバイスを制御します。インターロックチェック,タイムアウトチェックなどを行います。
STEP MONITOR
セミオートレベルのシーケンスを制御します。
MENU MONITOR
一連のフルオートシーケンスを制御します。
表 EDRFLXモニターの制御レイヤー

EVATS(搬送スケジューラ)
MENU
MONITOR
STEP
MONITOR
DEVICE
MONITOR
I/O
CONTROLL
EDRFLX MONITOR(リアルタイムモニター)
EDLMX(ミドルウェア)
OS(Windows)
EDRFLXモニター及びEDLMXソフトウェア階層図

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