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| EDPMS/OverViewサーバ リリース |
2020/02
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IoTの基本概念を進化させているEDPMSシリーズはデータ収集からデータの蓄積、データの分析、
そしてデータの活用に対応してきました。
その中でもデータの活用に必要な考え方としてデータレイクがあります。
システムブイはEEデータレイクとそれを利用するアプリケーションを実装するためのプラットフォームとしてEDPMS/OverViewサーバをリリースしました。
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| EDPMS/SEED リリース |
2019/11
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EDPMS Ver9.0で搭載した装置特性解析機能を
EDPMS Ver7及びVer8でも利用できるように独立したアプリケーションとしてリリースしました。
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| EDPMS/SDLC リリース |
2019/08
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製造装置や環境データを収集し、EEデータの収集と保存が可能になった段階で必要になるのは
収集したデータの統合です。
EDPMS/SDLCは拠点間接続を行うためにユーザ毎のセキュリティポリシをサポートし、
強化したセキュリティ対策を施したシステムです。
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| EDPMS Ver9.0 リリース |
2019/06
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EDPMSはこれまで以下のように進化してきました。
V7.0：
装置処理能力向上のための解析が下記観点から行うことが可能になりました。
①装置内ウェーハ搬送
②キャリア搬送
③プロセス処理時間
装置FD結果に応じた装置停止機能を搭載しました。
V8.0：
SEMI EDA フリーズ2対応と通信処理能力向上を行いました。
Windows Server 2016に対応しました。
またHyper-Vを使用した仮想化対応をおこない、１台のサーバで複数のEDPMSを実装可能になりました。
V9.0：
EDPMS/SEEDを搭載し、装置特性解析が簡単な操作で行うことが可能になりました。
①装置のデバイス動作を号機間・モジュール間での機差を見える化
②装置内ウェーハ進捗のガントチャートを作成
③シーケンスごとのトレースデータ変化
④ウェーハ毎に実施した装置FDの波形評価結果検証
装置からの情報と併せて時刻同期に対応したPLC接続も行えるようになりました。
本機能で外付けセンサや計測機とのデータ収集及び解析が可能になります。
今後もEDPMSはコンピュータ関連の最新技術を取り込み、コストパフォーマンスが高く、
効率のよい装置解析が できる環境をユーザ様に提供して参ります。
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